UHV-AFM ultracompacto para uso con voladizos activos.
El AFMinSEM de nano analytik GmbH no solo se utiliza para la obtención de imágenes, sino que también se puede utilizar para nanofabricación y metrología. Para ello, ofrecemos un sistema compacto-AFM, aplicable en cualquier SEM sin modificación de cámara, para micro manipulación y escaneo metrológico.
El XYZ-Stage es un nanoposicionador de circuito cerrado no magnético con un rango de movimiento de 60 µm x 60 µm x 20 µm (Ruido de posición: X, Y = 0.4nm; Z = 0.2nm) y un movimiento fuera del plano extremadamente bajo . Presenta altas frecuencias de resonancia (X, Y = 750Hz; Z = 2000Hz) y está diseñado para aplicaciones con limitaciones de espacio que requieren un posicionamiento de alta precisión. Además, la etapa de posicionamiento aproximado ofrece capacidades de manipulación en el rango de 1,5 cm en X, Y y Z con una precisión de 3 nm.
Instalación rápida en menos de 5 minutos.
